【第一參賽人/留學人員】周仁杰
【留學國家】美國
【技術領域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第5屆
【所獲獎項】入圍
【項目簡介】
光學表面輪廓儀是一種用于對各種精密器件、材料表面及生物微結構等進行高精度測量的精密儀器。它是以光學顯微、干涉、相位恢復原理，對目標表面進行非接觸式測量，從而重建目標的表面形貌。近年來光學表面輪廓儀開始廣泛應用于半導體材料計量和生物醫學成像，例如微納材料形貌測量、芯片缺陷檢測、細胞結構重構、金屬表面探傷等等。它所涉及到的技術指標有分辨率、靈敏度、測量范圍、測量通量、二維或三維重建等。其中靈敏度是指可以測量的最小結構厚度。無論是對超薄2D材料、微結構材料的研發與大規模生產，還是對細胞和組織結構病變的研究探索，3D形貌測量都是必不可缺的。如在電子半導體晶圓制造領域，表面輪廓的檢測是衡量光刻蝕質量的重要環節，其結果直接反映了產品合格率。又如最近的研究表明，檢測到的紅細胞膜的表面振動，直接關聯著細胞活性與運氧能力，這與多種疾病（如貧血和感染）有關。 本團隊致力于開發國際最尖端的光學精密測量儀器，通過與香港中文大學激光計量與生物醫學實驗室（https://www.lambcuhk.org/）合作，應用先進的定量相位成像技術，成功率先開發了便攜式3D高精度光學輪廓儀（Portable Optical Precision Profilometer, POPP）。相對于傳統的白光干涉顯微技術、激光共聚焦顯微技術、全息顯微技術，其優勢在于在保證高分辨的同時，擁有更快的測量速度與更加穩定的系統。此外，POPP有著更加廣泛的用途，特殊的設計使得它既可用于材料形貌的檢測，又可用于細胞和組織結構的活體測量，無須對生物組織切片進行化學染色處理。POPP測量精準、測量速度已達到甚至高于同類產品。它有著較低的制造成本、輕巧（重量低于4 公斤）的重量、較小的尺寸（長寬高約30 厘米 x 35 厘米x 10厘米），使得其安裝方便，利于便于集成。
【展開】
【收起】