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本項目的主要目標是在中國建立MEMS氣相沉積生產線，屆時將有能力在150—450mm晶圓上提供高質量，低殘余應力的氣相沉積薄膜。在制造磁電天線的同時，也可以將多余產能釋放給國內高校以及MEMS企業，為企業和高校提供MEMS所特別要求的定制化鍍膜服務，提升中國半導體/MEMS的制造產能和技術。且本項目符合國家戰略性新興產業政策,得到國家大力的支持與推動。磁電天線可以避免傳統天線的電流發熱，電流損耗等問題, 降低溫室氣體排放和環境污染，不會對周圍的環境造成污染。磁電天線理論上可以使得天線尺寸縮小上百倍，其制造工藝采用門檻較高的中端半導體制造技術（分辨率2um以上），在保證天線的輻射效率和功率情況下，微羽團隊將攻克這一設計難題。磁電天線的主要制造工藝包括半導體光刻及半導體氣相沉積。而MEMS氣相沉積是MEMS傳感器、濾波器以及激光雷達的重要工藝步驟。擬在中國建立MEMS氣相沉積生產線將有能力在150mm~450mm晶圓上提供高質量、低殘余應力的氣相沉積薄膜。針對未來磁電天線所應用的不同領域，微羽團隊將依據磁電天線應具備的輻射效率調整該領域天線的生產技術路線，參數指標為可植入醫療設備天線：403MHz；水下無線通信：1KHz；地下礦井通信：1KHz；天波通信：10—30KHz。由于磁電天線極大縮小了天線尺寸，因此對設備尺寸敏感的可植入醫療設備來說尤為關鍵。而對于低頻通信，傳統的天線尺寸都極大，不可能廣泛應用。但是對于磁電天線來說，它可以將傳統的上百米高的天線縮減為單人可攜帶系統，因此可以極大的擴展無線通訊的可應用領域。 【展開】 【收起】